作者:V. V. Afanas’ev、A. Stesmans、F. Chen、X. Shi、S. A. Campbell
DOI:10.1063/1.1495088
日期:2002.8.5
The electron energy band alignment at the Si/HfO2 interfaces with different interlayers (Si3N4, SiON, and SiO2) is directly determined using internal photoemission of electrons and holes from Si into the Hf oxide. Irrespective of the interlayer type, the energy barrier for the Si valence electrons was found to be equal 3.1±0.1 eV, yielding the conduction band offset of 2.0±0.1 eV. Photoemission of holes
Si/HfO2 界面与不同夹层(Si3N4、SiON 和 SiO2)的电子能带排列直接使用电子和空穴从 Si 进入 Hf 氧化物的内部光电发射来确定。不考虑夹层类型,发现 Si 价电子的能垒等于 3.1±0.1 eV,产生 2.0±0.1 eV 的导带偏移。空穴的光发射被SiON 和SiO2 夹层有效抑制,但观察到它发生在Si3N4 夹层上,势垒为3.6±0.1 eV,对应于2.5±0.1 eV 的Si/HfO2 价带偏移。HfO2 带隙宽度为 5.6 eV,因此由带偏移量得出,与从氧化物光电导光谱中获得的体积值一致。