1-[2-Diazo-1-(2-methylpropylsulfonyl)ethyl]sulfonyl-2-methylpropane

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机硫化合物 - 磺酰类
• 英文名称: 1-[2-Diazo-1-(2-methylpropylsulfonyl)ethyl]sulfonyl-2-methylpropane
• 英文别名: 1-[2-diazo-1-(2-methylpropylsulfonyl)ethyl]sulfonyl-2-methylpropane
• 化学式: C10H20N2O4S2
• 分子量: 296.4
• InChiKey: YQAJCLFFFIAIFO-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  1.7
• 重原子数：
  18
• 可旋转键数：
  7
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.9
• 拓扑面积：
  87
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  5

文献信息

• Cyclic acetal compound, polymer, resist composition and patterning process
  申请人：Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.

  公开号：US20030045731A1

  公开（公告）日：2003-03-06

  Cyclic acetal compounds of formula (1) wherein k=0 or 1 and n is an integer of 0 to 6 are novel. Using the cyclic acetal compounds as a monomer, polymers are obtained. A resist composition comprising the polymer as a base resin is sensitive to high-energy radiation and has excellent sensitivity, resolution, and etching resistance. 1

  公式（1）中，k=0或1，n是0到6的整数的环状缩醛化合物是新颖的。使用环状缩醛化合物作为单体，可以获得聚合物。以该聚合物为基础树脂的抗蚀剂组合物对高能辐射敏感，并具有优异的敏感性、分辨率和蚀刻抵抗性。
• US6515150B2
  申请人：——

  公开号：US6515150B2

  公开（公告）日：2003-02-04
• US6743566B2
  申请人：——

  公开号：US6743566B2

  公开（公告）日：2004-06-01