Abstract Lithium tantalite (LiTaO3) thin films (∼0.5 μm ) have been successfully deposited on Pt (111)/ SiO 2 / Si (1 0 0) substrates by means of sol–gel spin-coating technology. Figures of merit for infrared detector were studied for the LiTaO3 thin films. There exists high figures of merit Fv of 2.1×10 −10 C cm/J and Fm of 2.4×10 −8 C cm/J because of the relative low dielectric constant (er) of 35
摘要 采用溶胶-凝胶旋涂技术,成功地将
钽酸
锂(LiTaO3)薄膜(~0.5 μm)沉积在Pt(111)/SiO 2 / Si(1 0 0)衬底上。研究了 LiTaO3 薄膜的红外探测器的品质因数。由于相对较低的介电常数 (er) 为 35 和较高的热释电系数 (γ) 为 4.0,因此存在 2.1×10 -10 C cm/J 的高品质因数 Fv 和 2.4×10 -8 C cm/J 的 Fm ×10 -8 C/cm 2 K的薄膜。由 LiTaO3 薄膜制成的热释电红外探测器在 20 Hz 时的电压响应率 Rv 为 4584 V/W,在 100 Hz 时具有 4.23×10 7 cm Hz 1/2 / W 的高比检测率 D∗。