TEM GRIDS FOR DETERMINATION OF STRUCTURE-PROPERTY RELATIONSHIPS IN NANOTECHNOLOGY
申请人:Hutchison James E.
公开号:US20100155620A1
公开(公告)日:2010-06-24
Silicon grids with electron-transparent SiO
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windows for use as substrates for high-resolution transmission electron microscopy of chemically-modified SiO
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surfaces are fabricated by forming an oxide layer on a silicon substrate. An aperture is defined in the silicon substrate by etching the substrate to the oxide layer. A single substrate can include a plurality of apertures that are in respective frame regions that are defined by one or more channels in the substrate. Structural or chemical functionalizations can be provided, and surface interactions observed via TEM.
US8212225B2
申请人:——
公开号:US8212225B2
公开(公告)日:2012-07-03
[EN] TEM GRIDS FOR DETERMINATION OF STRUCTURE-PROPERTY RELATIONSHIPS IN NANOTECHNOLOGY<br/>[FR] GRILLES DE MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE EN TRANSMISSION POUR LA DÉTERMINATION DE RELATIONS STRUCTURE-PROPRIÉTÉ EN NANOTECHNOLOGIE
申请人:OREGON STATE
公开号:WO2009035727A9
公开(公告)日:2009-06-25
[EN] Silicon grids with electron-transparent SiO2 windows for use as substrates for high-resolution transmission electron microscopy of chemically-modified SiO2 surfaces are fabricated by forming an oxide layer on a silicon substrate. An aperture is defined in the silicon substrate by etching the substrate to the oxide layer. A single substrate can include a plurality of apertures that are in respective frame regions that are defined by one or more channels in the substrate. Structural or chemical functionalizations can be provided, and surface interactions observed via TEM. [FR] Selon l'invention, on fabrique des grilles de silicium dotées d'une fenêtre en SiO2 laissant passer les électrons devant être utilisées comme substrats pour l'examen par microscopie électronique en transmission haute résolution de surfaces en SiO2 modifiées chimiquement, en formant une couche d'oxyde sur un substrat en silicium. On définit une ouverture dans le substrat en silicium en attaquant le substrat jusqu'à la couche d'oxyde. Un seul substrat peut comporter une pluralité d'ouvertures situées dans des régions de structure respectives définies par un ou plusieurs canaux dans le substrat. Selon l'invention, il est possible d'obtenir des fonctionnalisations structurales ou chimiques et d'observer des interactions de surface via un microscope électronique en transmission.