使用溶胶-凝胶法或
甲基丙烯酸酯法,使用热纳米压印光刻技术直接对氧化物进行构图。溶胶-凝胶法可以使抗蚀剂具有较长的保存期限,但具有较高的表面能和大量溶剂,从而影响压印质量。仅限于某些氧化物的
甲基丙烯酸酯途径可产生可聚合的抗蚀剂,导致表面能较低,但前体的货架期较短。通过将这两种途径中的良性元素结合在一起,证明了使用使醇盐与可聚合
螯合剂(例如2-(甲基
丙烯酰氧基)乙基
乙酰乙酸酯(MAE
AA))反应制得的前驱体,对氧化物进行直接热纳米压印的通用方法。MAE
AA拥有β-
酮酸酯,可形成对环境稳定的物质,具有长保存期限的螯合醇盐和
甲基丙烯酸酯基团,为压印过程中与
交联剂的原位共聚提供了反应性单体侧基。聚合会导致阳离子的捕获,表面能的降低,压印的增强,从而可以在1 cm×2 cm的图案区域上轻松清洁脱模,产率约为100%。压印的热处理会产生无定形/结晶的氧化物图案。两条路线之间的这种联盟使成功印记了包括Al在内的多种氧化物成为可能