报道了在超高真空环境中
三甲基镓 (
TMGa) 和
叔丁基胂 (TBA) 与 (001) GaAs 表面的表面反应的实时反射差谱 (RDS) 研究。这些研究揭示了使用
TMGa 的 GaAs 原子层外延的几个阶段。建立了与各种动力学研究一致的模型,以解释在
TMGa 暴露期间在 RDS 中观察到的不同行为。结果表明,通过RDS监测可以达到最佳生长条件。
TMGa 暴露循环中发生的自限机制被认为是由于
TMGa 在 As 原子上的选择性吸附和反应以及 Ga 空位诱导的富 Ga 表面重建。还表明,TBAs 是一种很有前途的原子层外延
砷源。