1,1,1-三氯-N,N-二甲基-硅烷胺 | 13307-04-5

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 中文名称: 1,1,1-三氯-N,N-二甲基-硅烷胺
• 英文名称: Dimethylamino-trichlor-silan
• 英文别名: Silanamine, 1,1,1-trichloro-N,N-dimethyl-；N-methyl-N-trichlorosilylmethanamine
• CAS: 13307-04-5
• 化学式: C₂H₆Cl₃NSi
• 分子量: 178.521
• InChiKey: NEMUVWSQFWIZKP-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  1.7
• 重原子数：
  7
• 可旋转键数：
  0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  3.2
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  1

安全信息

• 海关编码：
  2931900090

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  1,1,1-三氯-N,N-二甲基-硅烷胺 以 氘代苯 为溶剂， 生成 Bis-(dimethylamino)-dichlorsilan
  参考文献：
  名称：

  Aminolysis of the Si–Cl bond and ligand exchange reaction between silicon amido derivatives and SiCl4: synthetic applications and kinetic investigationsElectronic supplementary information (ESI) available: details of the aminolysis and the ligand exchange reaction. See http://www.rsc.org/suppdata/dt/b2/b210282j/

  摘要：

  SiCln(NR2)4-n (n = 1, 2, 3, 4) 中 Si–Cl 键的氨解反应已被用于合成二元氨基、氯氨基或混合氨基衍生物，这取决于硅衍生物和胺的性质。反应动力学在一些代表性案例中进行了研究，即 SiCl4 + NHiPr2、SiCl(NMe2)3 + NH2iPr、SiCl2(NEt2)2 + NH2iPr，结果表明速率法则对硅化合物是一阶反应，并且不依赖于胺的浓度。此外，已确定 SiCl2(NEt2)2 与 NH2iPr 的反应的活化参数。SiCl4 和 SiCln(NR2)4-n 之间的配体交换反应生成多种氯氨基衍生物，其组成严格由反应物的摩尔比决定。对于 n = 3（R = Me）和 n = 2（R = Et），研究了 SiCl4 与 SiCln(NR2)4-n 之间的反应动力学。此外，在后者的情况下已确定平衡和活化参数。

  DOI：

  10.1039/b210282j
• 作为产物：
  描述：

  (dimethylamino)sulfenyl chloride 在 三氯硅烷 、 三乙胺 作用下， 以 乙醚 为溶剂， 生成 1,1,1-三氯-N,N-二甲基-硅烷胺
  参考文献：
  名称：

  Three-Membered Ring Formation by Si···N Interactions in Aminosulfenylsilanes

  摘要：

  二甲基氨基硫酰氯Me2NSCl与三氯化硅HSiCl3和三乙胺反应生成元素硫和Me2NSiCl3。假设氨基硫烷Me2N-SSiCl3是该反应的中间体。对Me2N-S-SiH3、Me2N-S-SiH2Cl、Me2N-S-SiH2F和Me2N-S-SiCl3进行了从头算（MP2/6D311G(d,p)），证明硫处存在锐角和短的Si···N距离，这表明NSSi三元环的存在。Si···N相互作用的强度取决于氮原子反位于硅的取代基的电负性，并且在Me2N-S-SiH2F的反式构象中最强（

  DOI：

  10.1515/znb-2003-0502

文献信息

• Complexation and exchange reactions of some dimethylamino-substituted group 4 compounds
  作者：Steven R. Wade、Gerald R. Willey

  DOI：10.1039/dt9810001264

  日期：——

  Reactions of CH2(NMe2)2, (1), SiMe2(NMe2)2, (2), [Ti(cp)(NMe2)3](cp =η-cyclopentadienyl), (3), and [Zr(cp)2(NMe2)2], (4), with covalent metal halides MCl4(M = Ti, Zr, Hf, Si, Ge, or Sn) and MCl3(M = Ti, V, or Cr) fall into two categories: (a)N-donor chelation leading to complex formation and (b) halide–NMe2 exchange. Compound (1) gives 1 : 1 complexes with MCl4(M = Ti or Sn) and a 2 : 1 complex with

  CH 2（NMe 2）2，（1），SiMe 2（NMe 2）2，（2），[Ti（cp）（NMe 2）3 ]（cp =η-环戊二烯基），（3）和[Zr（cp）2（NMe 2）2 ]，（4），以及共价金属卤化物MCl 4（M = Ti，Zr，Hf，Si，Ge或Sn）和MCl 3（M = Ti，V或Cr）分为两类：（a）N-供体螯合导致复合物形成，以及（b）卤化物-NMe 2交换。化合物（1）与MCl 4产生1：1配合物（M ＝ Ti或Sn）和与VCl 3的2∶1配合物。化合物（2）提供与MCl 4的1：1配合物（M = Ti，Zr，Hf或Sn）。TiCl 4 ·SiMe 2（NMe 2）2 → [TiCl 3（NMe 2）]的分解总是在固态和溶液中发生。（2）与金属（III）的氯化物没有反应。使用MCl 4（M = Si或Ge）时，发生涉及卤化物-NMe 2交换的“加扰”反应，这些反应已通过1
• METHOD FOR PRODUCING DIALKYLAMINOSILANE
  申请人：JNC CORPORATION

  公开号：US20200123180A1

  公开（公告）日：2020-04-23

  A method for safely and efficiently producing high-purity dialkylaminosilane. Dialkylamine is fed simultaneously during feeding chlorosilane in the presence of metal to cause reaction. For example, chlorosilane and dialkylamine are fed, and then only dialkylamine is fed to cause reaction, whereby dialkylaminosilane is produced.

  一种安全高效地生产高纯度二烷基氨基硅烷的方法。在金属存在的情况下，同时加入二烷基胺和氯硅烷以引发反应。例如，先加入氯硅烷和二烷基胺，然后只加入二烷基胺以引发反应，从而产生二烷基氨基硅烷。
• 실리콘 전구체 화합물, 이를 포함하는 박막 및 그 박막의 제조방법
  申请人：Soulbrain Co., Ltd. 솔브레인 주식회사(120200555471) Corp. No ▼ 131111-0597525BRN ▼524-86-01789

  公开号：KR20210052027A

  公开（公告）日：2021-05-10

  본 발명은 실리콘 전구체 화합물, 이를 포함하는 박막 및 그 박막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하기 화학식 1로 표시되는 것을 특징으로 하여 열 안정성이 향상되어 다양한 온도 영역에서 증착이 가능한 실리콘 전구체 화합물과, 이를 포함하고 균일한 두께로 증착되는 박막 및 그 박막의 제조 방법에 관한 것이다. [화학식 1] (상기 화학식 1에서 Y내지 Y은 독립적으로 R, 아민기, 할로겐 또는 비결합 전자로 이루어진 군으로부터 선택되되, 상기 Y 내지 Y 중 적어도 하나는 할로겐이고, 상기 R 내지 R는 독립적으로 수소, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 7의 알킬기이다.)

  本发明涉及硅前体化合物、包含其的薄膜以及制备该薄膜的方法，更详细地说，其特征在于使用化学式1所表示的化合物，使得硅前体化合物在更广泛的温度范围内具有更好的热稳定性，可以在不同温度下沉积，同时也涉及到包含该化合物并以均匀厚度沉积的薄膜的制备方法。 [化学式1] （在上述化学式1中，Y至Y独立地从由R，氨基，卤素或非键合电子组成的组中选择，其中至少一个为卤素，而R至R独立地为1至7个碳的取代或未取代的烷基。）
• 실리콘 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막의 제조 방법
  申请人：Soulbrain Co., Ltd. 솔브레인 주식회사(120200555471) Corp. No ▼ 131111-0597525BRN ▼524-86-01789

  公开号：KR20210052026A

  公开（公告）日：2021-05-10

  본 발명은 실리콘 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하기 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하여 저온에서 높은 증착 속도를 나타내면서 전기적 물성 및 열 안정성이 향상된 실리콘 함유 박막의 제조가 가능하게 하는 실리콘 전구체 화합물 및 이를 이용한 박막의 제조 방법에 관한 것이다. [화학식 1] (상기 화학식 1에서 R1 내지 R5는 독립적으로 수소, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬기 및 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 20의 아릴기로 이루어진 군으로부터 선택되고, Y1, Y2는 독립적으로 수소, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 치환 또는 비치환된 탄소수 1 내지 10의 아민기, 할로겐 및 비결합 전자로 이루어진 군으로부터 선택되며, n은 1 내지 3의 정수이다.)

  该发明涉及硅前体化合物以及利用其制备薄膜的方法。更具体地说，本发明涉及一种硅前体化合物，其中包括化学式1所示的化合物，该化合物在低温下表现出高沉积速度，同时提高了硅含量的薄膜的电学性能和热稳定性。本发明还涉及利用该硅前体化合物制备薄膜的方法。 [化学式1]（在上述化学式1中，R1至R5独立地选择自1到10个碳的取代或未取代的烷基和由6到20个碳的取代或未取代的芳基组成的群体，Y1和Y2独立地选择自1到10个碳的取代或未取代的烷基，1到10个碳的取代或未取代的氨基，卤素和未配对电子的群体，n是1到3的整数。）
• Chlorosilylamines
  作者：J. E. Drake、N. P. C. Westwood

  DOI：10.1039/j19710003617

  日期：——

  Various chlorosilylamines are formed by the hydrogen chloride elimination between an amine and chlorinated silanes. The chlorosilylamines are characterised by mass, i.r., and 1H n.m.r. spectroscopy.

  各种氯甲硅烷基胺是通过胺与氯化硅烷之间的氯化氢消除而形成的。氯甲硅烷基胺的特征在于质谱，红外光谱和1 H nmr光谱。