AbstractEs wird die Herstellung von Hexamethyl‐disilyperoxyd, tert.‐Butyl‐trimethylsilylperoxyd und Trimethylsilyl‐hydroperoxyd beschrieben. Die beiden ersteren Peroxyde sind thermisch recht stabil, z. B. zerfällt Hexamethyl‐disilylperoxyd bei 135°C etwa halb so schnell wie Di‐tert.‐Butylperoxyd. Die Organosilylperoxyde initiieren die Polymerisation von Vinylverbindungen; Hexamethyl‐disilyperoxyd beschleunigt die Polymerisation von Methacrylsäuremethylester bei 70° C etwa gleich stark wie Di‐tert.‐Butylperoxyd.