Si/sub 2/H/sub 6/ 在 147 nm 处的光分解导致形成 H/sub 2/、SiH/sub 4/、Si/sub 3/H/sub 8/、Si/sub 4/H /sub 10/、Si/sub 5/H/sub 12/,以及非晶
氢化硅(a-Si:H)的固体膜。提出了三个主要过程来解释结果,即 (a) Si/sub 2/H/sub 6/ + h..nu.. ..-->.. SiH/sub 2/ + SiH/sub 3 / + H (phi/sub a/ = 0.61); (b) Si/sub 2/H/sub 6/ + h..nu.. ..-->.. SiH/sub 3/SiH + 2H (phi/sub b/ = 0.18);(c) Si/sub 2/H/sub 6/ + h..nu.. ..-->.. Si/sub 2/H/sub 5/ + H (phi/sub c/ = 0.21)。总量子产率取决于压力,但在