三氯氢硅,又称三氯硅烷或硅氯仿,主要用于高分子有机硅化合物的原料。它不仅是制造硅烷偶联剂和其它有机硅产品的关键中间体,还是生产多晶硅的主要原料之一。
多晶硅产品的用途:
理化性质: 三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动且挥发性强的无色透明液体。它在空气中极易燃烧,-18℃以下仍存在火灾风险;遇明火猛烈燃烧,生成SiO2、HCl和Cl2。三氯硅烷的蒸汽能与空气形成爆炸性的混合物,在受热时会引发剧烈反应。遇水或潮气会发生强烈反应:2SiHCl3 + 3H2O → (HSiO)2O + 6HCl;在碱液中则分解出氢气。
毒性: 吸入三氯氢硅蒸气几分钟后,会出现兴奋、呼吸反射障碍以及呼吸道炎症。皮肤接触可导致坏死和溃疡。其最高允许浓度为1 mg/m³(需检测HCl)。生产人员应穿戴密闭工作服及防毒装备,并确保生产设备密闭良好,车间通风。
化学性质: 三氯氢硅是一种无色液体,能溶于二硫化碳、四氯化碳、苯等有机溶剂中。
生产方法: 沸腾氯化法通过将干燥后的硅粉与干燥的氯化氢气体在340℃反应生成粗三氯氢硅,经湿法除尘器处理后进入列管冷凝器,再由蒸馏塔分离四氯化硅。最终得到的产品通过冷却获得。
安全属性:
灭火方法: 使用干粉、干砂、二氧化碳或泡沫灭火。