实验发现,烯丙基三
氯硅烷在高于 1100 K 的温度下在真空热解 (~10–2 Torr) 下解离,形成三种不稳定的中间体:烯丙基、二
氯亚甲
硅烷和单原子
氯。根据获得的实验和理论数据,表明分解反应分两步进行。第一步是在最弱的 Si-C 键处均裂分解为两个自由基(
C3H5 和 SiCl3)的典型反应。由于SiCl3自由基中Si-Cl键的弱点,其能量甚至略低于起始AllSiCl3时Si-C键的离解能,该自由基进一步离解为SiCl2和Cl,从而产生三个由 AllSiCl3 形成的不同类别的高反应性物种的中间体。