[EN] ANTIMONY AND GERMANIUM COMPLEXES USEFUL FOR CVD/ALD OF METAL THIN FILMS [FR] COMPLEXES D'ANTIMOINE ET DE GERMANIUM UTILES POUR LES CVD/ALD DES FILMS MÉTALLIQUES MINCES
[EN] ANTIMONY AND GERMANIUM COMPLEXES USEFUL FOR CVD/ALD OF METAL THIN FILMS<br/>[FR] COMPLEXES D'ANTIMOINE ET DE GERMANIUM UTILES POUR LES CVD/ALD DES FILMS MÉTALLIQUES MINCES