使用 Cu/Pd/Si 结构在 200 和 600 °C 之间研究 Cu 和 Pd/Si 之间的反应。结构分析表明,Cu 和 Pd/Si 在 200 到 300 °C 之间发生反应,Pd 和 Si 都扩散到 Cu 中,并且 Cu 在形成的 Pd2 Si 层下方的 Si 区域内积累。在 400 °C 下观察到 Cu 和 Pd2 Si 之间的广泛反应,形成 Cu
硅化物和 Cu3 Pd。Cu/Pd2 Si 冶
金的不稳定性与 Al/Pd2 Si 和 Cu/PtSi 的不稳定性相当。在这方面,Cu/Pd/Si和Cu/Pt/Si结构之间的稳定性差异远小于Al/Pd/Si和Al/Pt/Si结构之间的稳定性差异。对于后一种结构,观察到大约 100°C 的差异,有或没有共同的阻挡层,Al/Pt/Si 是更稳定的。Cu
硅化物和 Cu3 Pd 的快速形成有助于 Cu/Pd/Si 结构的不稳定性。Cu
硅化物反