2,2,4,4,5,5-hexamethyl-1,3-dipropyl-1,3,2,4,5-diazatrisilolidine | 58276-80-5

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机金属化合物 - 有机类金属化合物
• 英文名称: 2,2,4,4,5,5-hexamethyl-1,3-dipropyl-1,3,2,4,5-diazatrisilolidine
• 英文别名: 2,2,4,4,5,5-Hexamethyl-1,3-dipropyl-1,3,2,4,5-diazatrisilolidine
• CAS: 58276-80-5
• 化学式: C₁₂H₃₂N₂Si₃
• 分子量: 288.656
• InChiKey: HIZCIAHWKYHORG-UHFFFAOYSA-N

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  1,2-二氯四甲基二硅烷 、 bis(n-propylamino)dimethylsilane 在 正丁基锂 作用下， 以 正己烷 为溶剂， 以75 %的产率得到2,2,4,4,5,5-hexamethyl-1,3-dipropyl-1,3,2,4,5-diazatrisilolidine
  参考文献：
  名称：

  CYCLOSILAZANE PRECURSORS AND RELATED METHODS

  摘要：

  Precursors and related methods are provided. A precursor comprises a cyclosilazane compound. The cyclosilazane compound is a reaction product of an aminosilane and a halosilane. A method for forming the precursor comprises obtaining an aminosilane, obtaining a halosilane, and contacting the aminosilane and the halosilane to obtain the precursor. A method for forming a silicon-containing film using the precursor is also provided, among other embodiments.

  公开号：

  WO2024155558A1