AbstractDie Reaktion von SiCl4 mit O2 in der Gasphase verläuft nicht spontan zu den thermodynamisch begünstigten Endprodukten SiO2 und Cl2. Bei Reaktionstemperaturen um 1300 K lassen sich zahlreiche Zwischenstufen SinOmCl4n−2m (Perchlorsiloxane) nachweisen und isolieren. Massenspektrometrische Untersuchungen zeigen die Bildung von Chlorsiloxanen mit n = 2…65 und m/n = 0,5…1,7; es wurden Molmassen bis 7000 D nachgewiesen. Auch die sehr hochmolekularen Chlorsiloxane haben typisch molekulare Eigenschaften: Sie sind löslich in unpolaren Solventien wie Hexan und unzersetzt verdampfbar. Es ergaben sich keine Hinweise darauf, daß die SiO‐Gerüste in den gebildeten Siloxanen Ausschnitte aus einer der Strukturen der SiO2‐Modifikationen darstellen.