N-[chloro-[chloro-bis(diethylamino)silyl]-(diethylamino)silyl]-N-ethylethanamine | 151625-20-6

• 分子结构分类: 有机化合物 - 有机盐 - 有机金属盐
• 英文名称: N-[chloro-[chloro-bis(diethylamino)silyl]-(diethylamino)silyl]-N-ethylethanamine
• CAS: 151625-20-6
• 化学式: C₁₆H₄₀Cl₂N₄Si₂
• 分子量: 415.597
• InChiKey: MNUGRLLWZJILOY-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  3.79
• 重原子数：
  24
• 可旋转键数：
  13
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  1.0
• 拓扑面积：
  13
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  4

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  N-[chloro-[chloro-bis(diethylamino)silyl]-(diethylamino)silyl]-N-ethylethanamine 、 甲胺 以 乙醚 为溶剂， 反应 10.0h， 生成
  参考文献：
  名称：

  Composition and method for low temperature deposition of silicon-containing films

  摘要：

  这项发明涉及用于通过低温（例如，<300°C）化学气相沉积工艺形成硅含量薄膜的硅前体组合物，用于制造极端超大规模集成（ULSI）器件和器件结构。这种硅前体组合物包括至少一种全取代烷基胺基和/或二烷基胺基官能团的二硅烷衍生物化合物。

  公开号：

  US20040138489A1