三（乙基环戊二烯基）钇 | 476364-59-7

• 分子结构分类: 有机化合物 - 碳氢化合物 - 芳香烃
• 中文名称: 三（乙基环戊二烯基）钇
• 英文名称: Y(EtCp)₃
• 英文别名: tris(ethylcyclopentadienyl)yttrium；Tris(ethylcyclopentadienyl) yttrium；5-ethylcyclopenta-1,3-diene;yttrium(3+)
• CAS: 476364-59-7
• 化学式: C₂₁H₂₇Y
• 分子量: 368.351
• InChiKey: QQUAAKQORFUMJF-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  5.9
• 重原子数：
  22
• 可旋转键数：
  3
• 环数：
  3.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.29
• 拓扑面积：
  0
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  3

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  三（乙基环戊二烯基）钇 、 水 以 neat (no solvent) 为溶剂， 生成 yttrium(III) oxide
  参考文献：
  名称：

  使用三（乙基环戊二烯基）钇前体和水蒸气在硅上原子层沉积 Y[sub 2]O[sub 3] 膜

  摘要：

  通过原子层沉积 (ALD)，使用新的前体三（乙基环戊二烯基）钇和水蒸气作为氧化剂在硅上沉积氧化钇膜。薄膜生长动力学已经在不同的反应器条件下进行了检查，并且生长饱和从前体剂量依赖性是显而易见的。薄膜厚度随沉积循环次数线性增加，在最佳 ALD 条件下产生 1.7 ± 0.1 A/循环的增长率。将反应器温度从 200°C 提高到 400°C，生长速率逐渐增加，在 250-285°C 范围内有一个狭窄的温度平台。Y 2 O 3 薄膜的 X 射线光电子能谱分析表明薄膜是化学计量的，没有碳污染的迹象，

  DOI：

  10.1149/1.2929825

文献信息

• US2023/40334
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——