【課題】i線に高い光感度を有し、耐熱安定性に優れ、疎水性材料への相溶性が高く、レジスト溶剤への溶解性に優れる非イオン系光酸発生剤を提供する。【解決手段】本発明は、下記式(1)で表されることを特徴とする非イオン系光酸発生剤(A)である。【化1】[式(1)中、R1およびR2は、置換基を有しても良い炭素数1〜18の炭化水素基(水素の一部又は全部がフッ素で置換されていてよい)である。R1およびR2は同一であってもよく異なっていてもよい。Yは、式(2)で表される基を表す。]【選択図】なし
提供具有高光敏度、优异耐热稳定性,对疏
水性材料具有高相容性,且对光刻胶溶剂具有优异溶解性的非离子光酸发生剂。本发明涉及一种非离子光酸发生剂(A),其特征在于它由下式(1)表示。【式(1)中,R1和R2代表具有取代基的
炭链基(部分或全部氢原子可能被
氟取代) ,其碳数为1~18。R1和R2可以相同,也可以不同。Y代表由式(2)表示的基。】【无图选项】