higher order perhydridosilane, with the purity and volume necessary for use in extensive studies of the chemical vapor deposition (CVD) of epitaxial silicon (e-Si) thin films. The chemical characteristics, thermodynamic properties, and epitaxial film growth of isotetrasilane are compared with those of other perhydridosilanes. A film-growth mechanism distinct from linear perhydridosilanes H(SiH2)nH, where
提出了一种合成方法,用于生产异丁
硅烷(一种更高阶的全氢
硅烷),其纯度和体积对于外延
硅(e-Si)薄膜的
化学气相沉积(CVD)的广泛研究必不可少。将异四
硅烷的
化学特性,热力学特性和外延膜生长与其他全氢
硅烷进行了比较。不同于线性全氢
硅烷H(SiH 2)n H的膜生长机理,其中n≤4,据报道。总结了在500–550°C的温度下使用异丁
硅烷作为源前驱体的未应变e-Si和掺有
锗(Ge)和碳(C)的应变e-Si的CVD的初步发现。结果表明,在未观察到气相耗尽反应的处理条件下,双(三氢甲
硅烷基)亚甲
硅烷基是可能的沉积中间体。