我们报告了使用超高真空
化学气相沉积和分子前体 (Ph)SnD3 作为 Sn 原子源来生长 Ge1-xSnx 半导体的简单
化学途径的发展。通过 (Ph)SnD3 与
Ge2H6 在 350°C 下的反应,在氧化和无氧化物的 Si 上沉积薄膜。通过卢瑟福背向散射、高分辨率分析电子显微镜和拉曼光谱对薄膜的组成、微观结构和粘合性能进行了表征。氧化
硅上沉积的 Ge1-xSnx 显示出良好的结晶度,通过在 400°C 下退火可显着提高结晶度。高分辨率电子显微镜和衍射表明
金刚石立方结构的晶格常数介于 Ge 和 α-Sn 的晶格常数之间。在纯 Si 上沉积的 Ge1-xSnx 是单晶和外延的。平面图和横截面的纳米探针分析表明,沉积态和退火态的材料均质,具有良好的
化学纯度。拉曼光谱显示的波段对应...