为了解释酸性
氟化物介质中 Si 的稳态电溶解电流密度 (I) 对总
氟化物浓度 (CF )、pH 和传质速率的依赖性,提出了一个动力学模型。假设 Si 电极被薄的 SiO 2 层覆盖,该层由 Si/氧化物界面处的电
化学反应形成,通过三个平行的
化学反应进行溶解。这些反应在HF和HF-2的作用下将SiO 2 转化为SiF 6 2- ,并在混合控制下发生;假定它们的动力学是二阶的。假定
氟化物物质和 H + 之间快速平衡。将该模型与我们自己获得的实验结果和文献中的实验结果进行了比较。CF、pH、and Ω dependencies of the current density measured at a fixed potential in the electropolishing domain are well reproduced with an appropriate choice of the