Thermally Robust Gold and Silver Iminopyrrolidinates for Chemical Vapor Deposition of Metal Films
作者:Jason P. Coyle、Peter G. Gordon、Adam P. Wells、David J. Mandia、Eric R. Sirianni、Glenn P. A. Yap、Seán T. Barry
DOI:10.1021/cm402658c
日期:2013.11.26
Dimeric silver(I) and gold(I) tert-butyl-imino-2,2-dimethylpyrrolidinates were synthesized and characterized by thermal gravimetric analysis (TGA), differential scanning calorimetry (DSC), single-crystal X-ray diffraction, and chemical vapor deposition (CVD) experiments. The motivation for this work arose from the excellent thermal stability of the previously reported analogous copper(I) compound and
二聚银(I)和金(I)叔合成了丁基丁基亚氨基-2,2-二甲基吡咯烷酸酯,并通过热重分析(TGA),差示扫描量热法(DSC),单晶X射线衍射和化学气相沉积(CVD)实验进行了表征。进行这项工作的动机是由于先前报道的类似铜(I)化合物具有出色的热稳定性,并且包括完成了一系列潜在的原子层沉积前驱物。这些化合物在空气中稳定,可溶于芳族或氯化溶剂。在固态下,TGA和DSC显示这些化合物在高达170°C的温度下具有热稳定性,在高达240°C的温度下具有良好的蒸发收率。通过CVD实验确定,银化合物的气相分解温度为140°C,金化合物的气相分解温度为300°C,这些化合物分解产生金属膜。提出通过配体的脱氢还原金属离子作为热分解途径。