摘要 已使用 AES 和热解吸质谱法检查了 WF6 和 Si(100) 之间的热和紫外光子诱导相互作用。在 77 K WF6 物理吸附在
硅表面上。高于 150 K 时会形成解离
化学吸附相,随着温度在 300-900 K 范围内升高,其分解为三个不同的阶段,以解吸
氟化
硅并产生 Si/W 界面。结果表明,WF6 在高于 300 K 的 Si(100) 上迅速形成薄腐蚀膜,随着该层开始增厚,这会产生明显的钝化效果。快速反应需要 Si 相互扩散到该生长膜中并解吸
氟化
硅;因此,稳态反应速率在 300-400 K 的温度范围内显着增加,这些过程的速率上升到与表面的 WF6 通量相当。SiFx 物种的自发进化被观察为
化学吸附的竞争途径,并讨论了这种现象的起源。来自
氘灯的低强度紫外光被发现对 WF6 在 Si(100) 上形成的解离态没有影响。相比之下,发现光子照射会导致分子吸收的 WF6 快速解离,导致