金属
硒化物和
碲化物薄膜的原子层沉积 (ALD) 一直受到限制,因为缺乏同时安全且表现出 ALD 所需的高反应性的前体。然而,有许多重要的
金属
硒化物和
碲化物薄膜材料通过 ALD 沉积可能是有益的,例如用于太阳能电池的
CuInSe2 和用于相变随机存取存储器的 Ge2Sb2Te5。特别是在后一种情况下,ALD 提供的高度保形沉积对于高存储密度至关重要。到目前为止,由于缺乏合适的
碲前体,只能使用等离子体辅助工艺尝试对
碲化锗锑 (GST) 进行 ALD。在本文中,我们在
碲和
硒的新 ALD 前体的开发方面取得了突破。具有通式 (R3Si)2Te 和 (R3Si)2Se 的化合物与各种
金属卤化物反应形成相应的
金属
碲化物和
硒化物。例如,我们展示了 Sb2Te3、GeTe 和 GST 薄膜可以使用 (Et3Si)2Te、SbCl3 和 GeCl2 x
C4H8O2 化合物作为前体通过 ALD 沉积。所有三种前体都表现出典型的饱和