TiNx formed are shown. The reaction process can be represented as follows: The reaction of gaseous TiCl4 with ammonia occurs first to form TiCl4·5NH3. Above ca. 220 °C, the TiCl4·5NH3 decomposes to TiClN. Above ca. 430 °C, the TiClN reacts with ammonia to form TiNx. Above ca. 1100 °C, in addition to these reactions, the reaction of TiCl2, formed by the reduction of TiCl4 with hydrogen resulting from the
气态 TiCl4 与
氨的反应产物为 200 °C 下的 TiCl4·5NH3,250-400 °C 下的 TiCl4·5NH3、TiClN 和 NH4Cl,450-650 °C 下的 TiCl4·5NH3、TiClN、TiNx 和 NH4Cl,TiNx和 NH4Cl 在 700–1000 °C,以及 TiNx、NH4Cl 和 HCl 在 1100–1400 °C。形成的 TiNx 的 N/Ti 原子比 x 在 700°C 时为 1.21,在 800°C 时为 1.16,在 900°C 时为 1.13,在 1000°C 以上时为 1.10。显示了形成的 TiNx 的晶格常数。反应过程可表示为:气态TiCl4与
氨气首先发生反应生成TiCl4·5NH3。以上约。220℃时,TiCl4·5NH3分解为TiClN。以上约。430 °C,TiClN 与
氨反应形成 TiNx。以上约。1100 °C,除了这些反应之外,TiCl2