作者:Edwin Kroke、Lars Loeffler、Fred F. Lange、Ralf Riedel
DOI:10.1111/j.1151-2916.2002.tb00595.x
日期:——
Aluminum nitride (AlN) powders were prepared from the oxide precursors aluminum nitrate, aluminum hydroxide, aluminum 2-ethyl-hexanoate, and aluminum isopropoxide (i.e., Al(NO3)3, Al(OH)3, Al(OH)(O2CCH(C2H5)(C4H9))2, and Al(OCH(CH3)2)3). Pyrolyses were performed in flowing dry NH3 and N2 at 1000°–1500°C. For comparison, the nitride precursors aluminum dimethylamide (Al(N(CH3)2)3) and aluminum trimethylamino
氮化铝 (AlN) 粉末由氧化物前体硝酸铝、氢氧化铝、2-乙基己酸铝和异丙醇铝(即 Al(NO3)3、Al(OH)3、Al(OH)(O2CCH( C2H5)(C4H9))2 和 Al(OCH(CH3)2)3)。在 1000°–1500°C 下,在流动的干燥 NH3 和 N2 中进行热解。为了进行比较,将氮化物前体二甲基酰胺铝(Al(N(CH3)2)3)和三甲基氨基铝铝(AlH3·N(CH3)3)暴露在相同的氮化条件下。使用 XRD、TEM、EDX、SEM 和元素分析对产品进行了研究。结果表明,氮化主要受大气中水:氨比的控制。从所有氧化物前体获得单相 AlN 粉末。即使对于非氧化物前体,使用纯 N2 也无法实现完全氮化。