通过 MeV 4He+ 背向散射和掠射入射 X 射线衍射研究了 Cr-Si 薄膜样品中
硅化物的形成。SiO2/Cr/Si 配置的样品是通过将 Cr 和 Si 连续电子枪沉积到 SiO2 基板上制备的,相对膜厚调整为 3.0 (
Cr3Si)、1.67 (Cr5Si3) 和 1.0 (CrSi) 的 Cr:Si 比. 当未反应的 Cr 和 Si 都存在时,在相形成的早期阶段,形成了
CrSi2 相。该相一直生长到 Si 被完全消耗,然后在 Cr- 界面形成富
金属相 Cr5Si3。在进一步加热 Cr:Si 比为 3.0 的样品时,Cr5Si3 与 Cr 反应形成更富
铬的相 。仅在 Cr:Si 比率为 1 的样品中观察到 CrSi 相。观察到相图中存在的所有化合物。