作者:E. G. Colgan、B. Y. Tsaur、J. W. Mayer
DOI:10.1063/1.91767
日期:1980.11.15
both unreacted Cr and Si are present, the CrSi2 phase is formed. The phase grows until the Si is completely consumed, and then a metal‐rich phase, Cr5Si3, is formed at the Cr‐CrSi2 interface. Upon further heating of samples with a Cr:Si ratio of 3.0, Cr5Si3 reacts with Cr to form a more Cr‐rich phase, Cr3Si. The CrSi phase was observed only in samples with a Cr:Si ratio of 1. All the compounds present
通过 MeV 4He+ 背向散射和掠射入射 X 射线衍射研究了 Cr-Si 薄膜样品中硅化物的形成。SiO2/Cr/Si 配置的样品是通过将 Cr 和 Si 连续电子枪沉积到 SiO2 基板上制备的,相对膜厚调整为 3.0 (Cr3Si)、1.67 (Cr5Si3) 和 1.0 (CrSi) 的 Cr:Si 比. 当未反应的 Cr 和 Si 都存在时,在相形成的早期阶段,形成了 CrSi2 相。该相一直生长到 Si 被完全消耗,然后在 Cr-CrSi2 界面形成富金属相 Cr5Si3。在进一步加热 Cr:Si 比为 3.0 的样品时,Cr5Si3 与 Cr 反应形成更富铬的相 Cr3Si。仅在 Cr:Si 比率为 1 的样品中观察到 CrSi 相。观察到相图中存在的所有化合物。