通过高分辨率透射电子显微镜和高角度环形暗场和能量色散 X 射线分析研究了在 800 到 1000°C 范围内退火 1 小时的薄非晶 Ta40Si14N46 薄膜的纳米结晶过程。在 800 °C 时,大小约为 2 nm 的团簇表明已形成成分不均匀性,而薄膜仍保持结构无定形。在 900 °C 下退火的样品含有高密度的 TaN 纳米颗粒,尺寸约为 2 nm,以及尺寸为 75-100 nm 且
钽含量高的无定形结构。在 1000 °C 下退火后,观察到几乎完全的晶体结构,其中包含 4 nm 大小的立方 TaN 颗粒和 15 nm 大小的 Ta5Si3 晶粒。讨论了驱动这些结构变化的可能机制。