摘要 气相复合机制已被用于解释在 Cl 2 存在下 TiSi 2 和 MoSi 2 表面的离子诱导发射。已经对从 TiSi 2 发出的 Si + 、SiCl + 、Ti + 和 TiCl + 以及从 MoSi 2 发出的 Si + 、SiCl + 、Mo + 和 MoCl + 进行了直接飞行时间测量。发现离子分子产物是通过在中性Cl原子和电离
金属或半导体原子表面上方复合形成的。当考虑图像电位调整时,基于这种方法的理论计算与低至约 1 eV 的实验数据非常吻合。这占发射的离子分子产物的 90% 以上。重要的是,来自TiSi 2 和MoSi 2 的SiCl + 的发射是由与来自元素Si的中性SiCl的发射不同的机制引起的。