硅化钒 | 12039-87-1

• 物质功能分类: 无机化工 - 无机盐 - 硅化物及硅酸盐
• 分子结构分类: 无机化合物 - 混合金属/非金属化合物 - 类金属盐
• 中文名称: 硅化钒
• CAS: 12039-87-1
• 化学式: Si2V
• 分子量: 107.11
• InChiKey: LUWOVYQXZRKECH-UHFFFAOYSA-N

物化性质

• 熔点：
  1677 °C
• 密度：
  4.420
• 溶解度：
  溶于HF

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  -0.76
• 重原子数：
  3
• 可旋转键数：
  0
• 环数：
  0.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.0
• 拓扑面积：
  0
• 氢给体数：
  0
• 氢受体数：
  0

安全信息

• TSCA：
  Yes
• 危险等级：
  6.1
• 危险品标志：
  Xi
• 安全说明：
  S26,S36
• 危险类别码：
  R36/37
• WGK Germany：
  3
• 危险类别：
  6.1

制备方法与用途

概述

硅化物是制备大规模集成电路的关键材料，可以用它来制作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线。超大规模集成电路的结深非常浅，如64兆位的超大规模集成电路中的PN结深度只有200nm，在如此浅的结表面使用常规方法制备电极引线常常会导致PN结穿通，使电路失效。因此，需要制备薄层硅化物，其中硅化钒是一种最佳选择。

用途

硅化物是制备大规模集成电路的关键材料，可以用它来制作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线。硅化钒的主要用途如下：

1. 制备硅化钒薄膜。
2. 制备一种吸声陶瓷材料。

生产方法

在直流等离子电弧炉中，加热V和Si的单质粉末以制备硅化物。