使用电子衍射和卢瑟福背散射 (RBS) 研究了 Ni/Al、Pd/Al 和 Pt/Al 薄膜双层中的离子束和热反应。在室温下用 600 keV 的
氙离子进行离子混合,剂量范围在 0.25 到 12×1015 离子/cm2 之间。离子诱导结晶相 NiAl 和 PdAl 的组成既不同于离子混合层的总体原子组成(由 RBS 确定),也不同于通过热退火获得的层的组成。在 Pt/Al 双层中,离子混合形成了一个原子组成为 Pt40Al60 的非晶区,而热退火显示了结晶 Pt2Al3 的形成。我们相信混合过程中实际晶体化合物的形成取决于碰撞级联区域中的高淬灭速率。