通过单源
氢化物 (H3Ge)2SiH2、(H3Ge) 的脱氢,在 Si(100) 上进行具有不同 Si0.33Ge0.67、Si0.25Ge0.75 和 Si0.20Ge0.80 成分和均匀尺寸的纳米级岛的生长)3SiH 和 (H3Ge)4Si。高空间分辨率电子能量损失光谱和拉曼光谱表明岛内和岛之间的元素浓度均匀,并确认它们的 Si-Ge 含量是由相应前体的
化学计量预先确定的。Z 对比电子显微镜显示出独特且完美的外延岛,具有原子锐利的界面,通过平滑且连续的润湿层约 10A 厚生长。横截面电子显微镜显示具有无缺陷微结构的岛的单峰分布。薄膜形成的低能电子显微镜研究表明,生长是通过 Stranski-Krastanov 模式进行的。由这种方法产生的具有高度受控的富
锗浓度的相干量子点组件...