我们报告了基于
环戊二烯基和二氮杂
丁二烯配体的
钴(III)
金属前体家族的合成和表征。描述了确定的
环戊二烯基-
钴(III)(N,N'-二环己基-二氮杂
丁二烯)(2c)和
环戊二烯基-
钴(III)(N,N'-二甲磺酰基-二氮杂
丁二烯)(2d)的分子结构通过单晶X射线衍射分析。配合物的热重分析表明,异丙基衍
生物CpCo(i Pr 2 -dab)(2a)是可能的
钴金属
化学气相沉积(CVD)前体。使用前驱体2a进行大气压CVD(AP-CVD)在
氢气(H 2)气氛下在
硅衬底上合成
金属
钴薄膜。分别通过扫描电子显微镜(
SEM)和原子力显微镜(A
FM)对在250°C,275°C,300°C,325°C和350°C的基板温度下沉积的薄膜进行分析生长特征:在325和350°C下生长的薄膜是连续的且无针孔,而在250°C,275°C和300°C的基板温度下生长的薄膜则由结晶纳米颗粒组成。粉末X射线衍射(PXRD)和X