(2,5-di-tert-butylpyrrolyl)(tris(ethoxy))titanium | 1310456-07-5

• 英文名称: (2,5-di-tert-butylpyrrolyl)(tris(ethoxy))titanium
• CAS: 1310456-07-5
• 化学式: C₁₈H₃₅NO₃Ti
• 分子量: 361.361
• InChiKey: TZBHSXLXOQKXQL-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  None
• 重原子数：
  None
• 可旋转键数：
  None
• 环数：
  None
• sp3杂化的碳原子比例：
  None
• 拓扑面积：
  None
• 氢给体数：
  None
• 氢受体数：
  None

反应信息

• 作为产物：
  描述：

  tris(ethoxy)monochloro titanium 、 2,5-di-tert-butylpyrrolyl lithium salt 以 正己烷 为溶剂， 以71%的产率得到(2,5-di-tert-butylpyrrolyl)(tris(ethoxy))titanium
  参考文献：
  名称：

  Liquid precursor for depositing group 4 metal containing films

  摘要：

  本发明涉及一类液态4族前体化合物，其化学式为：(pyr*)M(OR1)(OR2)(OR3)，其中pyr*是一种取代烷基的吡咯烷基，M代表4族金属，包括钛、锆和铪；R1-3可以相同或不同，并从由线性或支链C1-6烷基组成的群体中选择；最好选择C1-3烷基；R4从由C1-6烷基组成的群体中选择，最好选择支链C3-5烷基，其在2,5位置被取代以防止吡咯烷基以η1方式配位到金属中心；n = 2、3、4。最好的实施例是(2,5-二叔丁基吡咯烷基)(三乙氧基钛)、(2,5-二叔戊基吡咯烷基)(三乙氧基钛)和(2,5-二叔戊基吡咯烷基)(三异丙氧基钛)。本发明还涉及(环戊二烯基)(2,5-二甲基吡咯烷基)(双乙氧基)钛。本发明还考虑了使用这些化合物的沉积方法。

  公开号：

  US08592606B2