摘要11种钴配合物,其类型为[Co(CO)2(NO)L](L = PEt 3,TeMe 2或TeEt 2)和[(η3 -C 3 H 3 R 2)Co(CO)2 L] (R = H或Me; L CO,PEt 3,TeEt 2或具有R'Pr i,But或Cy的CNR'; Cy是环己基)并已评估用于MOCVD应用。通过克努森渗出法测量蒸气压已确定[Co(CO)2(NO)(TeMe 2)]和烯丙基配合物[(η3 -C 3 H 5)Co(CO)的室温挥发性)3,],[(η3 -C 3 H 4 Me)Co(CO)3],[(η3 -C 3 H 3 Me 2)Co(CO)3]和[(η3 -C 3 H 5)Co(CO)2(CNBu t)]足以(0.1–4.0 mmHg)在蒸汽状态下实现高浓度。氢气流中携带的7种配合物在180–250°C时的汽相热降解产生了金属沉积物,用EDX或XPS分析了金属沉积物。