摘要:
在经典热化学气相沉积工艺中使用新型单源前驱体,在 400 °C 左右的温度下生产出了亚μm 范围内的钛酸铅、锆酸铅和锆钛酸铅(PZT)薄膜。钛酸铅和锆酸铅这两种双金属氧化烷化合物的物理性质和互补混溶性几乎完全相同,通过对这两种化合物的设计,产生了一种新型准单源 PZT 前驱体,它是一种共沸混合物,在 30 °C 和 4 à 10â1 mbar 压力下蒸发。在650 °C下进行热处理后,得到了透明的(100)取向PZT薄膜,其残余极化为20 μC cmâ2,胁迫场强为20 V μmâ1。无需额外的铅源。