Nb(=NtBu)Cp(NMe)2 | 1221522-53-7

• 英文名称: Nb(=NtBu)Cp(NMe)2
• CAS: 1221522-53-7
• 化学式: C₁₃H₂₆N₃Nb
• 分子量: 317.276
• InChiKey: AHVUQDJQRMRJTN-UHFFFAOYSA-N

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  None
• 重原子数：
  None
• 可旋转键数：
  None
• 环数：
  None
• sp3杂化的碳原子比例：
  None
• 拓扑面积：
  None
• 氢给体数：
  None
• 氢受体数：
  None

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  Nb(=NtBu)Cp(NMe)2 、 叔丁醇 以 甲苯 为溶剂， 反应 12.0h， 以84.6%的产率得到[Nb(tert-butylimido)(η5-cyclopentadienyl)(tert-butoxide)2]
  参考文献：
  名称：

  [EN] METHOD OF FORMING DIELECTRIC FILMS, NEW PRECURSORS AND THEIR USE IN THE SEMI-CONDUCTOR MANUFACTURING
  [FR] PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILMS DIÉLECTRIQUES, NOUVEAUX PRÉCURSEURS ET LEUR UTILISATION DANS LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS

  摘要：

  一种含金属的薄膜形成组合物，包括具有以下式子的前体物质：M(=NR1)(OR2)(OR3)mL。其中，M = V或Nb或Ta；R1-R3 = 独立的H或C1-C10烷基；L = 取代或未取代的环戊二烯、环己二烯、环庚二烯、环辛二烯、芴、茚、融合环系统、丙烯、丁二烯、戊二烯、己二烯、庚二烯；m = 0或1。

  公开号：

  WO2022022813A1

文献信息

• US2014/106071
  申请人：——

  公开号：——

  公开（公告）日：——