sodium 4-(9-(4-(2-methyl-2-adamantyloxycarbonylmethyloxy)phenyl)fluorene-9-yl)phenoxyacetyl-2,3,5,6-tetrafluorobenzenesulfonate | 1446220-06-9

• 分子结构分类: 有机化合物 - 苯类化合物 - 苯和取代衍生物
• 英文名称: sodium 4-(9-(4-(2-methyl-2-adamantyloxycarbonylmethyloxy)phenyl)fluorene-9-yl)phenoxyacetyl-2,3,5,6-tetrafluorobenzenesulfonate
• CAS: 1446220-06-9
• 化学式: C₄₆H₃₇F₄O₉S*Na
• 分子量: 864.844
• InChiKey: VCKBRZPYFVWVRO-UHFFFAOYSA-M

计算性质

• 辛醇/水分配系数(LogP)：
  5.64
• 重原子数：
  61.0
• 可旋转键数：
  11.0
• 环数：
  10.0
• sp3杂化的碳原子比例：
  0.3
• 拓扑面积：
  128.26
• 氢给体数：
  0.0
• 氢受体数：
  9.0

反应信息

• 作为反应物：
  描述：

  sodium 4-(9-(4-(2-methyl-2-adamantyloxycarbonylmethyloxy)phenyl)fluorene-9-yl)phenoxyacetyl-2,3,5,6-tetrafluorobenzenesulfonate 、 氯化三苯基硫 以 二氯甲烷 、 水 为溶剂， 反应 1.0h， 以0.334 g的产率得到triphenylsulfonium 4-(9-(4-(2-methyl-2-adamantyloxycarbonylmethyloxy)phenyl)fluorene-9-yl)phenoxyacetyl-2,3,5,6-tetrafluorobenzenesulfonate
  参考文献：
  名称：

  具有单个保护基的新型光酸产生剂结合的分子玻璃抗蚀剂

  摘要：

  一种具有单个保护基的新型光酸产生剂（PAG）结合分子玻璃光刻胶已被开发为一种有前途的光刻胶材料，可用于微电子领域。从9,9-双（4-羟苯基）芴开始，分四个步骤制备了这种单组分分子抗蚀剂。单组分分子抗蚀剂具有良好的热性能，例如10％的失重温度为200°C，玻璃化转变温度为91°C。该抗蚀剂显示出60μC/ cm 2的良好灵敏度。电子束暴露（50 keV）。另一方面，使用电子束（100 keV）光刻技术，在4 wt％淬灭剂三辛胺存在下，半节距为50 nm的精细图案。LER值为8.2 nm（3σ，60 nm半间距图形）。©2013 Wiley Periodicals，Inc. J Polym Sci A部分：Polym Chem，2013年

  DOI：

  10.1002/pola.26575
• 作为产物：
  描述：

  双酚芴 在 18-冠醚-6 、 sodium hydride 、 potassium carbonate 、 N,N'-二环己基碳二亚胺 作用下， 以 四氢呋喃 、 N,N-二甲基甲酰胺 、 丙酮 、 乙腈 为溶剂， 反应 25.0h， 生成 sodium 4-(9-(4-(2-methyl-2-adamantyloxycarbonylmethyloxy)phenyl)fluorene-9-yl)phenoxyacetyl-2,3,5,6-tetrafluorobenzenesulfonate
  参考文献：
  名称：

  具有单个保护基的新型光酸产生剂结合的分子玻璃抗蚀剂

  摘要：

  一种具有单个保护基的新型光酸产生剂（PAG）结合分子玻璃光刻胶已被开发为一种有前途的光刻胶材料，可用于微电子领域。从9,9-双（4-羟苯基）芴开始，分四个步骤制备了这种单组分分子抗蚀剂。单组分分子抗蚀剂具有良好的热性能，例如10％的失重温度为200°C，玻璃化转变温度为91°C。该抗蚀剂显示出60μC/ cm 2的良好灵敏度。电子束暴露（50 keV）。另一方面，使用电子束（100 keV）光刻技术，在4 wt％淬灭剂三辛胺存在下，半节距为50 nm的精细图案。LER值为8.2 nm（3σ，60 nm半间距图形）。©2013 Wiley Periodicals，Inc. J Polym Sci A部分：Polym Chem，2013年

  DOI：

  10.1002/pola.26575